Verfahren zum Reduzieren der Trap-Dichte in einem Halbleiterwafer

EP1851790 Art A1 7. November 2007

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1851790
Aktenzeichen
EP05708563
Anmeldetag
3. Februar 2005
Veröffentlichung
7. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/324H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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