Kontrolle der Substratbearbeitung mittels reflektierter Strahlung
EP1852694
Art A2
7. November 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1852694
- Aktenzeichen
- EP07016540
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 7. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95// G01N21/956G01N21/21
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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