Dielektrischer Film und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP1852904 Art A1 7. November 2007

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1852904
Aktenzeichen
EP06712063
Anmeldetag
20. Januar 2006
Veröffentlichung
7. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/318H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOHOKU UNIVERSITY
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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