Methode zum Halten und Bearbeiten von SOS oder SOI Halbleiterscheiben

EP1852907 Art B1 3. Juli 2013

Anmelder: TOTO LTD., ULVAC, INC., Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Hall, Matthew Benjamin London, Großbritannien

1.167

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Luft- & Raumfahrttechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente