Zusammensetzung für den Unterschichtfilm aus Resist und Prozess zu Seiner Herstellung

EP1855159 Art A1 14. November 2007

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1855159
Aktenzeichen: EP06714631
Anmeldetag: 24. Februar 2006
Veröffentlichung: 14. November 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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