Prozess zur Herstellung eines Sic-Einkristallsubstrats

EP1855312 Art B1 9. April 2014

Anmelder: Hitachi Metals, Ltd., Neomax Co., LTD 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1855312
Aktenzeichen: EP05710517
Anmeldetag: 22. Februar 2005
Veröffentlichung: 9. April 2014
Erteilung: 9. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065C30B29/36H01L21/04C30B33/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi Metals, Ltd.
Neomax Co., LTD
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Proterial

Japanisches Unternehmen (frühere Firmierung Hitachi Metals), das Spezialstähle, Magnetwerkstoffe und Metallkomponenten für Industrie und Automobilbau herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von