Kassettentransportverfahren und Kassettentransportvorrichtung
EP1855314
Art A1
14. November 2007
Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1855314
- Aktenzeichen
- EP07107488
- Anmeldetag
- 4. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 14. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677B65G49/07
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Skone James, Robert Edmund
London, Großbritannien
2.888
Patente gesamt
32
Fachgebiete
29
Anmelder-Länder
Schwerpunkte