Verfahren und Vorrichtung zur Signalverarbeitung in einer Spektrometrie über eine Verbesserte Apodisierungsfunktion
EP1856506
Art A1
21. November 2007
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1856506
- Aktenzeichen
- EP06736898
- Anmeldetag
- 3. März 2006
- Veröffentlichung
- 21. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/35G01J3/45G01N21/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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