Vorrichtung zum Abgeben Präziser Fluidvolumen

EP1856586 Art A2 21. November 2007

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1856586
Aktenzeichen: EP05799707
Anmeldetag: 22. September 2005
Veröffentlichung: 21. November 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G05D7/00B01F3/08B01F15/00B01F15/04B24B57/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von