Stabilisierte Fotolackstruktur für Ätzverfahren
EP1856717
Art A2
21. November 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1856717
- Aktenzeichen
- EP06736891
- Anmeldetag
- 2. März 2006
- Veröffentlichung
- 21. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
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