Verfahren zum Einsetzen einer Spezies in ein Halbeleitersubstrat Bzw. Entfernen der Spezies aus Diesem
EP1856722
Art A1
21. November 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1856722
- Aktenzeichen
- EP06718109
- Anmeldetag
- 10. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 21. November 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
858
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15
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