Verfahren zur Behandlung einer Halbleiterscheibe

EP1857576 Art B1 5. Januar 2011

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1857576
Aktenzeichen
EP07008863
Anmeldetag
2. Mai 2007
Veröffentlichung
5. Januar 2011
Erteilung
5. Januar 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C30B33/00G01B11/06H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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