System und Verfahren für ein Abgabesystem mit Variabler Ausgangsposition

EP1859169 Art A2 28. November 2007

Anmelder: Entregris, Inc, Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1859169
Aktenzeichen
EP05849583
Anmeldetag
21. November 2005
Veröffentlichung
28. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
F04B49/00F04B49/06B67D5/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entregris, Inc
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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