Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkörperoberflächen
EP1859479
Art B8
22. April 2009
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1859479
- Aktenzeichen
- EP06723328
- Anmeldetag
- 9. März 2006
- Veröffentlichung
- 22. April 2009
- Erteilung
- 22. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Vertreten von
Riepe, Hans-Gerd
München, Deutschland
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