Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors unter Verwendung von SOI-Wafern

EP1860418 Art A1 28. November 2007

Anmelder: Sensirion Holding AG, Sensirion AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1860418
Aktenzeichen
EP06010606
Anmeldetag
23. Mai 2006
Veröffentlichung
28. November 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01L19/00B81B7/02H01G7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sensirion Holding AG
Sensirion AG
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Sensirion

Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.

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