Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1860506
Art B1
8. April 2009
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1860506
- Aktenzeichen
- EP07116392
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 8. April 2009
- Erteilung
- 8. April 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01J37/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Hatzmann, Martin
NoneDen Haag