Substratverarbeitungssystem und Substrattransferverfahren

EP1860693 Art B1 27. Februar 2013

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1860693
Aktenzeichen: EP07010288
Anmeldetag: 23. Mai 2007
Veröffentlichung: 27. Februar 2013
Erteilung: 27. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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