Vorrichtung zum Verdampfen von Materialien mit einem Verdampferrohr

EP1862564 Art B1 3. September 2008

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1862564
Aktenzeichen
EP06011585
Anmeldetag
3. Juni 2006
Veröffentlichung
3. September 2008
Erteilung
3. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24C23C14/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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