Verarbeitungsvorrichtung und Verarbeitungsverfahren

EP1862711 Art A3 19. Dezember 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1862711
Aktenzeichen: EP07010880
Anmeldetag: 1. Juni 2007
Veröffentlichung: 19. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: F16K7/17H01L21/00H05F3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von