Verdampfer für organisches Material, Beschichtungsanlage und Anwendungsverfahren dafür

EP1862788 Art A1 5. Dezember 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials GmbH & Co. KG 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1862788
Aktenzeichen
EP07004188
Anmeldetag
28. Februar 2007
Veröffentlichung
5. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01L11/02C23C16/448C23C14/24C23C14/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
Applied Materials GmbH & Co. KG
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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