Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1863070
Art B1
27. April 2016
Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd., NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1863070
- Aktenzeichen
- EP06712651
- Anmeldetag
- 31. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 27. April 2016
- Erteilung
- 27. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
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Fachgebiete
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Ter Meer Steinmeister & Partner
Ter Meer Steinmeister & Partner · München