Oberflächenbehandlungsverfahren für ein Nitridkristall, Nitridkristallsubstrat, Nitridkristallsubstrat mit Epitaxialschicht und Halbleitervorrichtung sowie Verfahren zur Herstellung eines Nitridkristallsubstrats mit Epitaxialschicht und Halbleitervorrichtung

EP1863074 Art A3 25. November 2009

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1863074
Aktenzeichen
EP07010089
Anmeldetag
21. Mai 2007
Veröffentlichung
25. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/02C30B29/40C30B33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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