Vorrichtung und Verfahren für den Transport eines Schlauchs von einer Ersten Kammer in eine Zweite Kammer
EP1863948
Art B1
9. März 2011
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1863948
- Aktenzeichen
- EP05738478
- Anmeldetag
- 31. März 2005
- Veröffentlichung
- 9. März 2011
- Erteilung
- 9. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
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