Reflektierendes Schleifensystem zur Produktion inkohärenter Strahlung
Anmelder: ASML Netherlands BV, Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd., Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1865362
- Aktenzeichen
- EP07252132
- Anmeldetag
- 24. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 12. September 2012
- Erteilung
- 12. September 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/48G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands BV
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Dainippon Screen Mfg., Co., Ltd. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.
275 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Roberts, Peter David
NoneManchester