Belichtungsgerät, Verfahren zur Herstellung eines Belichtungsgeräts und Verfahren zur Herstellung eines Mikrobauelements

EP1865381 Art A1 12. Dezember 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1865381
Aktenzeichen: EP06730180
Anmeldetag: 28. März 2006
Veröffentlichung: 12. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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