Vorrichtung zur Belichtung Mehrspaltiger Elektronenstrahlen
EP1865538
Art A1
12. Dezember 2007
Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1865538
- Aktenzeichen
- EP06730219
- Anmeldetag
- 28. März 2006
- Veröffentlichung
- 12. Dezember 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20H01J37/305H01J37/317H01J37/05
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANTEST CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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