Umgebungskontrolle in einem Retikel-Smif-Pod
EP1866094
Art B1
26. Dezember 2012
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1866094
- Aktenzeichen
- EP06749321
- Anmeldetag
- 4. April 2006
- Veröffentlichung
- 26. Dezember 2012
- Erteilung
- 26. Dezember 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Legg, Cyrus James Grahame
London, Großbritannien
662
Patente gesamt
31
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19
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