Maskierung Wiederholter Überlagerungs- und Ausrichtungsmarkierungen zum Ermöglichen der Wiederverwendung von Photomasken in einer Vertikalen Struktur

EP1866701 Art A1 19. Dezember 2007

Anmelder: Sandisk 3D, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1866701
Aktenzeichen
EP06748959
Anmeldetag
31. März 2006
Veröffentlichung
19. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00G03F7/20H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sandisk 3D, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 SanDisk 3D

SanDisk 3D war eine auf dreidimensionale Speichertechnologien spezialisierte Tochtergesellschaft von SanDisk, heute Teil von Western Digital. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiterbauelemente sowie Akustik- und Datenspeichertechnik. Die Anmeldungen aus 2001 bis 2014 betreffen unter anderem vertikale Feldeffekttransistoren und 1T-1R-Speicherzellen.

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