Steuerung der Parameter des Ausgangslichtstrahls eines Gasentladungslasers

EP1867014 Art B1 21. August 2013

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1867014
Aktenzeichen: EP06748813
Anmeldetag: 27. März 2006
Veröffentlichung: 21. August 2013
Erteilung: 21. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/036H01S3/038H01S3/134H01S3/097

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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