Gasentladungslasersystem mit 6 Khz und Mehr

EP1867015 Art B1 21. November 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1867015
Aktenzeichen: EP06748829
Anmeldetag: 27. März 2006
Veröffentlichung: 21. November 2012
Erteilung: 21. November 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01F27/08H01S3/03H01S3/08H01S3/22H01F27/22H01F38/02H05K7/20H01S3/036H01S3/041H01F3/10H01F38/10// H01S3/225H01S3/04H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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