Vorrichtung zur Euv-Plasmaquellen-Zielablieferung

EP1867218 Art B1 22. August 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1867218
Aktenzeichen: EP06720851
Anmeldetag: 17. Februar 2006
Veröffentlichung: 22. August 2018
Erteilung: 22. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J35/20G21K5/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc. (A Nevada Corporation)
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von