Vorgängerzusammensetzung für Poröse Membran und Ihre Herstellung, Poröse Membran und Ihre Herstellung sowie Halbleitervorrichtung
Anmelder: ULVAC, INC., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1867687
- Aktenzeichen
- EP06729340
- Anmeldetag
- 17. März 2006
- Veröffentlichung
- 18. September 2013
- Erteilung
- 18. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09D7/12C09D183/00H01L21/316
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- ULVAC, INC.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Mitsui Chemicals, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.
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