Flüssigkeitsverarbeitungsvorrichtung

EP1868229 Art B1 13. Januar 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1868229
Aktenzeichen: EP07011675
Anmeldetag: 14. Juni 2007
Veröffentlichung: 13. Januar 2010
Erteilung: 13. Januar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00B05C11/02G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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