Verfahren zur Herstellung von auf Si1-yGey basierenden mit unterschiedlichen Ge-Gehalten auf ein und demselben Substrat mittels Kondensation von Germanium
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique, STMicroelectronics SA 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1868232
- Aktenzeichen
- EP07109908
- Anmeldetag
- 8. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2009
- Erteilung
- 25. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/321H01L21/308H01L21/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Energie Atomique
STMicroelectronics SA - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.
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