Verfahren zur Herstellung von auf Si1-yGey basierenden Zonen mit unterschiedlichen Ge-Gehalten auf ein und demselben Substrat mittels Kondensation von Germanium

EP1868233 Art B1 11. März 2009

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, STMICROELECTRONICS SA 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1868233
Aktenzeichen
EP07109927
Anmeldetag
8. Juni 2007
Veröffentlichung
11. März 2009
Erteilung
11. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
STMICROELECTRONICS SA
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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