Trägereinheit einer Substrattransfervorrichtung

EP1868237 Art B1 19. März 2014

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1868237
Aktenzeichen
EP07252358
Anmeldetag
11. Juni 2007
Veröffentlichung
19. März 2014
Erteilung
19. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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