Zusammensetzung und Verfahren zum Polieren einer Saphiroberfläche

EP1868953 Art A2 26. Dezember 2007

Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1868953
Aktenzeichen
EP06784322
Anmeldetag
2. März 2006
Veröffentlichung
26. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B24B1/00C09K13/00C09K3/14C30B33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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