Verwaltung von Verarbeitungsinformationen bei einem Plasmaverarbeitungswerkzeug
EP1869680
Art B1
14. August 2013
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1869680
- Aktenzeichen
- EP06735457
- Anmeldetag
- 16. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 14. August 2013
- Erteilung
- 14. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F19/00G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
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