Verdampfer für eine CVD-Anlage und Gasdurchflussregler.

EP1870490 Art A3 24. September 2008

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1870490
Aktenzeichen: EP07011619
Anmeldetag: 13. Juni 2007
Veröffentlichung: 24. September 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448C23C16/52G05D7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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