Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von winkelaufgelöster spektroskopischer Lithografie
EP1870696
Art B1
4. März 2009
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1870696
- Aktenzeichen
- EP07252355
- Anmeldetag
- 11. Juni 2007
- Veröffentlichung
- 4. März 2009
- Erteilung
- 4. März 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/21G01B11/06G03F7/20G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
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