Resonanter Abtastspiegel

EP1870773 Art A3 22. Juli 2009

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1870773
Aktenzeichen
EP07252547
Anmeldetag
22. Juni 2007
Veröffentlichung
22. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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