Flüchtiger Nickelaminoalkoxidkomplex und Abscheidung von Dünnen Nickelfilmen unter Verwendung davon
EP1871781
Art B1
31. Oktober 2012
Anmelder: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1871781
- Aktenzeichen
- EP05733385
- Anmeldetag
- 7. April 2005
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Erteilung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07C215/08H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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