Flüssigkeitsimmersions-Lithographiesystem mit einem Geneigten Duschkopf
EP1872175
Art A1
2. Januar 2008
Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1872175
- Aktenzeichen
- EP06733009
- Anmeldetag
- 19. April 2006
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Corcoran, Gregory Martin Mason
Veldhoven, Niederlande
102
Patente gesamt
7
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Hatzmann, Martin
NoneDen Haag