Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabeschichtung

EP1872637 Art B1 7. Mai 2014

Anmelder: Dr. Laure Plasmatechnologie Gmbh 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1872637
Aktenzeichen
EP06722775
Anmeldetag
11. April 2006
Veröffentlichung
7. Mai 2014
Erteilung
7. Mai 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/42C23C4/12B05B7/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dr. Laure Plasmatechnologie Gmbh
Land
🇩🇪 Deutschland

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