Salz, welches für einen Säuregenerator geeignet ist, sowie chemisch verstärkte Resistzusammensetzung, die dieses enthält

EP1873143 Art B8 19. August 2009

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1873143
Aktenzeichen: EP06013261
Anmeldetag: 27. Juni 2006
Veröffentlichung: 19. August 2009
Erteilung: 19. August 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C07C309/17H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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