Verfahren zur Behandlung dielektrischer Schichten

EP1873818 Art A2 2. Januar 2008

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1873818
Aktenzeichen
EP07111064
Anmeldetag
26. Juni 2007
Veröffentlichung
2. Januar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105H01L21/316C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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