Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Fluiden zur Verringerung von Mikrobläschen
EP1874446
Art A1
9. Januar 2008
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1874446
- Aktenzeichen
- EP06751350
- Anmeldetag
- 25. April 2006
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01F3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte