Verfahren zur Maskeninspektion im Rahmen des Maskendesigns und der Maskenherstellung
EP1875307
Art B1
5. August 2009
Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH, Synopsys GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1875307
- Aktenzeichen
- EP06706655
- Anmeldetag
- 4. Februar 2006
- Veröffentlichung
- 5. August 2009
- Erteilung
- 5. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMS GmbH
Synopsys GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Niestroy, Manfred
Jena, Deutschland
48
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte