Verbindung mit einem Polymer mit Ethylendicarbonylstruktur zur Verwendung bei der Bildung einer Antireflexbeschichtung für die Lithographie

EP1876495 Art B1 20. Juli 2011

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1876495
Aktenzeichen: EP06731784
Anmeldetag: 13. April 2006
Veröffentlichung: 20. Juli 2011
Erteilung: 20. Juli 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08G59/42H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von