Einstellbare Lösbarkeit in Opferschichten für die Mikrofabrikation

EP1877863 Art A2 16. Januar 2008

Anmelder: The President and Fellows of Harvard College 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1877863
Aktenzeichen: EP06758354
Anmeldetag: 14. April 2006
Veröffentlichung: 16. Januar 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The President and Fellows of Harvard College
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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